[发明专利]一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法及工装有效
申请号: | 201910018435.1 | 申请日: | 2019-01-09 |
公开(公告)号: | CN109491102B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 李志炜;邵俊铭;蒋青锋;高国涵;汪利华;石恒;雷柏平;罗倩;刘盾;范斌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B27/42 | 分类号: | G02B27/42;G03F7/20 |
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地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构制备方法及工装,解决了传统接近/接触式曝光方法制备大口径薄膜衍射透镜时不同半径区域无法获得相同优质形貌光刻胶微结构的问题。本发明提供的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构制备方法,可以在不影响大口径薄膜衍射透镜波像差的情况下,制作出表面具有大面积优质光刻胶形貌的大口径薄膜衍射透镜。本发明可以稳定控制大口径薄膜衍射透镜光刻胶曝光过程中引起的波前畸变波动,全口径曝光间隙均匀性高,全口径光刻胶形貌优质,曝光工艺条件稳定易控制,重复性好,无毒无害,便于推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 口径 薄膜 衍射 透镜 光刻 微结构 制备 方法 工装 | ||
【主权项】:
1.一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:在带有薄膜镜框(3)的薄膜基底(2)表面旋涂光刻胶;步骤2:调节承片台(5)与掩模板(4)之间的平行度;步骤3:将内侧支撑工装(6)、外侧高度调节工装(7)先后安装到承片台(5)上,内侧支撑工装(6)位于外侧高度调节工装(7)内侧,内侧支撑工装(6)的安装模块(12)底部和外侧高度调节工装(7)的安装圆环(10)底部均设有多个圆周均布的通孔(13),通过这些通孔(13)与承片台(5)上相对应的安装孔进行工装的固定;步骤4:将薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)安装到外侧高度调节工装(7)的镜框支撑圆环(8)上,内侧支撑工装(6)位于薄膜基底(2)正下方,薄膜支撑模块(11)的直径与薄膜镜框(3)内径相配合,通过外侧高度调节工装(7)的镜框支撑圆环(8)上的通孔(13)与薄膜镜框(3)底部的安装孔进行薄膜镜框(3)与镜框支撑圆环(8)的连接与固定;步骤5:调节外侧高度调节工装(7),使薄膜基底(2)与薄膜镜框(3)缓慢下降,直至薄膜基底(2)下表面恰好接触内侧支撑工装(6)的薄膜支撑模块(11)上表面;步骤6:将大面积光刻石英掩模板(4)安装到掩模架上,承片台(5)、内侧支撑工装(6)、外侧高度调节工装(7)、薄膜基底(2)及薄膜镜框(3)同时缓慢上升,接触掩模板(4)后开始曝光,曝光结束后依次分离掩模板(4)以及连在一起的薄膜基底(2)及薄膜镜框(3),显影后得到大口径薄膜衍射透镜光刻胶结构。
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