[发明专利]石墨烯薄膜转移装置在审
| 申请号： | 201910019995.9 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109534326A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;彭海琳;王悦晨;孙禄钊;李杨立志;余屹;林志威 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及石墨烯转移技术领域，具体而言，涉及一种石墨烯薄膜转移装置，用以将石墨烯薄膜转移至目标基底，其包括：壳体，所述壳体具有真空腔体；滚压机构，位于所述真空腔体内，所述滚压机构包括第一辊轴及与所述第一辊轴相对设置的第二辊轴，所述第一辊轴及所述第二辊轴中的至少一者能够转动；其中，所述第一辊轴和/或所述第二辊轴能够在转动过程中对经过所述第一辊轴和所述第二辊轴之间的石墨烯薄膜与目标基底进行滚动贴合，以将石墨烯薄膜转移至目标基底。该技术方案能够提高石墨烯薄膜转移之后的完整度。 | ||
| 搜索关键词： | 辊轴 石墨烯薄膜 目标基 滚压机构 转移装置 壳体 相对设置 真空腔体 转动过程 石墨烯 完整度 真空腔 贴合 转动 滚动 体内 申请 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜转移装置，用以将石墨烯薄膜转移至目标基底，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有真空腔体；滚压机构，位于所述真空腔体内，所述滚压机构包括第一辊轴及与所述第一辊轴相对设置的第二辊轴，所述第一辊轴及所述第二辊轴中的至少一者能够转动；其中，所述第一辊轴和/或所述第二辊轴能够在转动过程中对经过所述第一辊轴和所述第二辊轴之间的石墨烯薄膜与目标基底进行滚动贴合，以将石墨烯薄膜转移至目标基底。
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