[发明专利]一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统在审
| 申请号： | 201910020237.9 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109545271A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张揽宇;高健;陈文华;张金迪;梁俊朗;钟耿君;赵光同;陈新;贺云波 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;唐京桥 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。 | ||
| 搜索关键词： | 精密运动 补偿器 微动台 侧板 弹簧 滑动组件 基底 凸台 补偿系统 压电陶瓷 压电 底座 三维 测量部件 固定设置 柔性铰链 相对设置 振动抵消 轴向滑动 底面 微动 预紧 申请 测量 垂直 压缩 配合 | ||
【主权项】：
1.一种精密运动补偿器，其特征在于，具有基底与微动台，所述基底包括底座与固定设置在所述底座上的凸台；所述微动台的底面具有相对设置并垂直所述底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；所述弹簧侧侧板与所述凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，所述压电侧侧板与所述凸台的位于所述第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；所述基底上设置有滑动组件，所述微动台与所述滑动组件连接，并可基于所述滑动组件沿所述弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量所述微动台的位置。
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