[发明专利]缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质在审
| 申请号： | 201910021131.0 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN110274918A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 西原荣治 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G06F16/56;G06F16/54 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提高确认缺陷的作业中的确认精度。提供一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其具有获取部和输出控制部。获取部针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。输出控制部通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出缺陷图像数据和基准图像数据。 | ||
| 搜索关键词： | 基准图像数据 缺陷确认装置 检查对象物 输出控制部 缺陷图像 计算机可读 存储介质 可视方式 缺陷确认 时间顺序 显示区域 输出 捕捉 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其特征在于，具有：获取部，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据；和输出控制部，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。
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