[发明专利]一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘有效

专利信息
申请号: 201910021514.8 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN109659270B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 滕燕;向禹;谢玉飞 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 唐代盛
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,包括上端盖、下端盖;上端盖和下端盖固定连接;上端盖中心设有通孔;下端盖为上端小、下端大的台阶圆柱结构;下端盖中心设有与通孔同轴的盲孔;上端盖下设安装孔,下端盖上端圆柱位于安装孔内,且下端盖上端圆柱小于安装孔尺寸;端盖径向上均匀设有多个导气孔,导气孔将盲孔与空腔相连通;下端盖下端圆柱上端面与上端盖下端面之间设有密封圈;所述下端盖下端设有一圈环形腔;下端盖上均匀设有至少两个射流发生孔;射流发生孔将空腔与环形腔相连通;射流发生孔的出气口射流方向与环形腔径向相切;下端盖上沿径向上均匀设有多个分流孔;本发明可使工件吸取过程中更加稳定。
搜索关键词: 一种 工件 旋转 振荡 涡旋式 接触 真空 吸盘
【主权项】:
1.一种防工件旋转和振荡的涡旋式非接触真空吸盘,其特征在于,包括上端盖(1)、下端盖(2);所述上端盖(1)和下端盖(2)固定连接;所述上端盖(1)中心设有通孔(1‑1),作为气体流入通道;所述下端盖(2)为上端小、下端大的台阶圆柱结构;所述下端盖(2)中心设有与通孔(1‑1)同轴的盲孔(2‑1);所述上端盖(1)下部设安装孔(1‑2),下端盖(2)上端圆柱位于安装孔(1‑2)内,且下端盖(2)上端圆柱小于安装孔(1‑2)尺寸,使得下端盖(2)上端与安装孔(1‑2)之间形成空腔(3),作为空气流入腔;所述端盖(2)径向上均匀设有多个导气孔(2‑2),所述导气孔(2‑2)将盲孔(2‑1)与空腔(3)相连通;所述下端盖(2)下端圆柱上端面与上端盖(1)下端面之间设有密封圈(4),以对空腔(3)进行密封;所述下端盖(2)下端设有一圈环形腔(2‑3),作为涡旋发生腔;所述下端盖(2)上均匀设有至少两个射流发生孔(2‑4);所述射流发生孔(2‑4)将空腔(3)与环形腔(2‑3)相连通;所述射流发生孔(2‑4)的出气口射流方向与环形腔(2‑3)径向相切,且所述射流发生孔(2‑4)所在平面的法线与吸盘的轴线的形成夹角;所述下端盖(2)上沿径向上均匀设有多个分流孔(2‑5),以连通环形腔(2‑3)和大气。
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