[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明实施例公开了一种钙钛矿太阳能电池器件及其制造方法。该钛矿太阳能电池器件包括依次层叠的衬底、阳极（ITO）、空穴传输层（非晶NiO_x）、钙钛矿光吸收层、电子传输层（Nb₂O₅）和阴极。本发明的钙钛矿太阳能电池器件及其制备方法获得了较高的能量转化效率和较高的开路电压，且具备较低的加工成本和能够实现大面积加工，因而在钙钛矿太阳能电池领域具有良好的应用前景。

主权项

1.一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，包括：获取衬底；依次用微米级半导体专用洗涤剂、去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗所述衬底并烘干；在所述衬底上形成阳极层；在常温下用电子束蒸镀的方法在所述阳极层上形成非晶氧化镍层作为空穴传输层，其中所述非晶氧化镍层的厚度为20‑50纳米；在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsMAFAPbIBr的混合型钙钛矿光活性层，其中所述混合型钙钛矿光活性层的厚度为550‑600纳米；将形成了所述混合型钙钛矿光活性层的所述衬底在110摄氏度下进行加热处理；在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上使用电子束蒸镀的方法蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层，其中所述电子传输层的厚度为20‑70纳米；在所述电子传输层上形成阴极层，其中所述阴极层的厚度不小于80纳米。