[发明专利]一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器有效
申请号: | 201910021815.0 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109632093B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 徐州天骋智能科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技术产*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有引线电极以及对数周期天线,对数周期天线的两臂分别与对应的引线电极电连接;所述对数周期天线的两臂之间设置有石墨烯导电层,该石墨烯导电层与对数周期天线的两臂电连接,所述石墨烯导电层的上方设置有介质层,所述介质层上设置有劈裂栅极,以及与劈裂栅极电连接的引线电极;所述石墨烯导电层的中部段设置有多个间隔的中空孔;该增强热量吸收的亚太赫兹波探测器,通过改变石墨烯导电层的结构,使得石墨烯导电层在进行导电的时候能够吸收更多的热量,载流子的浓度更高,从而提高了探测光波的敏感度,提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 增强 灵敏性 亚太 赫兹 探测器 | ||
【主权项】:
1.一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有引线电极(2)以及对数周期天线(3),对数周期天线(3)的两臂分别与对应的引线电极(2)电连接;所述对数周期天线(3)的两臂之间设置有石墨烯导电层(4),该石墨烯导电层(4)与对数周期天线(3)的两臂电连接,所述石墨烯导电层(4)的上方设置有介质层(5),所述介质层(5)上设置有劈裂栅极(6),以及与劈裂栅极(6)电连接的引线电极(2);所述石墨烯导电层(4)的中部段(7)设置有多个间隔的中空孔。
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