[发明专利]一种翘起结构的制备方法有效
| 申请号： | 201910021859.3 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109750253B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 江苏润祁项目管理有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/18;C23C14/30;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/42 |
| 代理公司： | 南京擎天知识产权代理事务所(普通合伙) 32465 | 代理人： | 涂春春 |
| 地址： | 225300 江苏省泰州市泰镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种翘起结构的制备方法，只需要校场一次，通过对不同区域选择不同的曝光深度，蒸镀两次，再将其放入热场中，调节热场的温度，来调控翘起的角度。整个制备过程简单易操作，翘起结构的制备精度高，角度易于调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 翘起 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种翘起结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：准备工作，准备玻璃基底(100)，在基底(100)上涂覆两层光刻胶，一层是正胶(101)，一层是负胶(102)；步骤2：电子束曝光结构图形，用扫描电子显微镜中的图形发生器设计图形，并曝光相应区域；步骤3：显影定影处理后，蒸镀金属材料(103)；步骤4：用剥离液进行lift‑off剥离工艺。步骤5：将制备好的结构放入热场中。
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