[发明专利]一种检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法在审
| 申请号： | 201910022341.1 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109406433A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋萌;曾以亚;简重光 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，包括：配置不同浓度的硝酸标准溶液；在特征波长下，采用紫外可见分光光度计测试不同浓度的硝酸标准溶液的吸光度，绘制浓度‑吸光度的标准曲线，拟合得到硝酸根离子的浓度‑吸光度的线性公式，其中，特征波长为对硝酸根离子有紫外吸收的波长；将待测铝蚀刻液稀释处理后获得待测样品，在与硝酸标准溶液相同的检测条件下，采用紫外可见分光光度计测试所述待测样品的吸光度，将测得的吸光度值代入所述线性公式中，计算待测样品的硝酸根离子浓度；根据待测样品的稀释倍数，计算待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度，根据待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度计算待测刻蚀液中硝酸的含量。 | ||
| 搜索关键词： | 硝酸 硝酸根离子 铝蚀刻液 吸光度 待测样品 标准溶液 紫外可见分光光度计 特征波长 线性公式 种检测 稀释 测试 标准曲线 检测条件 浓度计算 紫外吸收 刻蚀液 波长 拟合 绘制 配置 申请 | ||
【主权项】：
1.一种检测铝蚀刻液中硝酸含量的方法，其特征在于，采用紫外可见分光光度法检测铝蚀刻液中硝酸含量，包括以下步骤：配置不同浓度的硝酸标准溶液；在特征波长下，采用紫外可见分光光度计测试不同浓度的所述硝酸标准溶液的吸光度，绘制浓度‑吸光度的标准曲线，拟合得到硝酸根离子的浓度‑吸光度的线性公式，其中，所述特征波长为对硝酸根离子有紫外吸收的波长；将待测铝蚀刻液稀释处理后获得待测样品，在与所述硝酸标准溶液相同的检测条件下，采用紫外可见分光光度计测试所述待测样品的吸光度，将测得的吸光度值代入所述线性公式中，计算所述待测样品的硝酸根离子浓度；根据待测样品的稀释倍数，计算所述待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度，根据所述待测铝蚀刻液中的硝酸根离子浓度计算所述待测刻蚀液中硝酸的含量。
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