[发明专利]一种具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器有效
申请号: | 201910023542.3 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109580030B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 林江;高新明;张滨华 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨华凡传感技术有限公司 |
主分类号: | G01K7/32 | 分类号: | G01K7/32 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街30*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器,要解决的是现有温度传感器体积大、热敏石英谐振器固定、安装结构复杂,响应速度慢等问题。本产品包括一体化封装部件和热敏石英谐振器并且一体化封装部件内充满了氦气,所述一体化封装部件包括管帽和管座,管座包括绝缘子、第一管脚和第二管脚,热敏石英谐振器包括基部区和n个振臂,n为不小于四的偶数。本产品改进了热敏石英谐振器的机械强度,降低了常规结构中的寄生振动模式,使其支撑、固定、安装结构简单,成本率高,更重要的是提升了传感器的精度、响应速度、重复性和长期稳定性;本产品工作频率较低,功耗小,精度高,响应速度快,频谱干净,抗干扰能力强。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 多枚箭形 振臂 高精度 谐振 石英 温度传感器 | ||
【主权项】:
1.一种具有多枚箭形振臂的高精度谐振式石英温度传感器,包括一体化封装部件(8)和热敏石英谐振器(1)并且一体化封装部件(8)内充满氦气,所述一体化封装部件(8)包括管帽(2)和管座(20),管座(20)包括绝缘子(17)、第一管脚(18)和第二管脚(19),第一管脚(18)与热敏石英谐振器(1)的第一汇流条电极(6)相连,第二管脚(19)与热敏石英谐振器(1)的第二汇流条电极相连,其特征在于,热敏石英谐振器(1)包括基部区(15)和n个振臂,n为不小于四的偶数,振臂的顶部均为等腰三角形,振臂的底部均为矩形,振臂均从基部区(15)沿石英晶体机械轴Y’的正向伸出,热敏石英谐振器(1)采用双转角xytl(115°±0.5)/(30°±5°)石英晶体。
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