[发明专利]一种聚合物微纤维结构的制备方法及应用在审
申请号: | 201910023605.5 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109761189A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 焦庆斌;谭鑫;李文昊;巴音贺希格;张伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供的聚合物微纤维结构的制备方法,通过在光刻胶胶膜上制备孔形光刻胶掩模,在所述孔形光刻胶掩模上制备微纤维阵列槽形,在所述微纤维阵列槽形内填充聚合物,并对填充聚合物后的所述微纤维阵列槽形进行处理,获取聚合物微纤维结构,本发明提供的聚合物微纤维结构的制备方法,工艺简单,制备得到的聚合物微纤维结构基于仿生范德华力,能够实现对诸如生物芯片、生物薄膜、DUV/EUV镜片等易损伤、难抓取的异形结构物、脆性物进行“零损伤”抓取。 | ||
搜索关键词: | 聚合物微纤维 制备 微纤维 槽形 抓取 刻胶掩模 聚合物 孔形光 填充 损伤 范德华力 生物薄膜 生物芯片 异形结构 脆性物 光刻胶 镜片 胶膜 应用 | ||
【主权项】:
1.一种聚合物微纤维结构的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:在光刻胶胶膜上制备孔形光刻胶掩模;在所述孔形光刻胶掩模上制备微纤维阵列槽形;在所述微纤维阵列槽形内填充聚合物,并对填充聚合物后的所述微纤维阵列槽形进行处理,获取聚合物微纤维结构。
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