[发明专利]掩膜板、蒸镀装置及掩膜板对位方法在审
| 申请号： | 201910024142.4 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109609911A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 欧凌涛;李伟丽;卓林海;余强根;甘帅燕;王亚 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板、蒸镀装置及掩膜板对位方法。本发明的掩膜板，包括至少一个掩膜图形开口和成对设置的至少一对定位孔组，每一对所述定位孔组分别在所述掩膜板相对两侧边对称排列，每个所述定位孔组均包括至少一个定位孔，且每一所述定位孔组中的定位孔均与成对设置的另一定位孔组中的定位孔相对于所述掩膜板的中心点对称设置，所述掩膜图形开口均位于两个所述定位孔组之间。本发明能够保证掩膜板的准确对位。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 定位孔组 定位孔 成对设置 掩膜图形 蒸镀装置 对位 开口 中心点对称 对称排列 相对两侧 准确对位 位孔 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括至少一个掩膜图形开口和成对设置的至少一对定位孔组，每一对所述定位孔组分别在所述掩膜板相对两侧边对称排列，每个所述定位孔组均包括至少一个定位孔，且每一所述定位孔组中的定位孔均与成对设置的另一定位孔组中的定位孔相对于所述掩膜板的中心点对称设置，所述掩膜图形开口均位于两个所述定位孔组之间。
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