[发明专利]超声烧结封装装置在审
| 申请号： | 201910024633.9 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109540374A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李军辉;金忠;陈卓;何虎;刘小鹤;朱文辉 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L1/00 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 叶碧莲 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超声烧结封装装置，应用于耐高温的压力传感器，所述压力传感器包括一不锈钢外壳，所述不锈钢外壳的底部设置有一管座，所述管座的顶端由下至上依次设置有下玻璃层、绝缘层和上玻璃层；所述超声烧结封装装置包括：加热平台，设置在所述不锈钢外壳的底端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供热能；超声发生装置，设置在所述不锈钢外壳的顶端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供超声能。本发明提供的超声烧结封装装置，能降低压力传感器的封装温度，保护压力传感器的芯片和封装体，同时利用超声能的强机械效应和清洁效应，改善了压力传感器封装的整体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 烧结 不锈钢外壳 封装装置 超声 封装 超声能 管座 绝缘层 超声发生装置 机械效应 加热平台 降低压力 上玻璃层 下玻璃层 依次设置 传感器 封装体 耐高温 底端 芯片 清洁 应用 | ||
【主权项】：
1.一种超声烧结封装装置，应用于耐高温的压力传感器，所述压力传感器包括一不锈钢外壳，所述不锈钢外壳的底部设置有一管座，所述管座的顶端由下至上依次设置有下玻璃层、绝缘层和上玻璃层；其特征在于，所述超声烧结封装装置包括：加热平台，设置在所述不锈钢外壳的底端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供热能；超声发生装置，设置在所述不锈钢外壳的顶端，用于给所述压力传感器的烧结封装提供超声能。
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