[发明专利]开关门装置及甩干设备在审
| 申请号： | 201910025094.0 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109488155A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 胡孝伟;张金环;陶利权 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | E05F15/70 | 分类号： | E05F15/70;E05F15/60;F26B5/08;F26B25/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种开关门装置及甩干设备，涉及单晶圆加工设备技术领域，以缓解现有技术中存在的门体需要操作者手动开启或关闭的技术问题。该开关门装置包括第一支撑件、第二支撑件、驱动机构、门体和状态检测机构；第一支撑件和第二支撑件间隔设置，门体位于第一支撑件和第二支撑件之间；驱动机构安装于第一支撑件，并与门体传动连接，驱动机构结构接收设备控制系统的控制信号以驱动门体打开和关闭；状态检测机构安装于第二支撑件，并与门体传动连接，状态检测机构能够检测门体所处状态、产生状态信号，并将状态信号传递至设备控制系统。该甩干设备包括上述的开关门装置。本发明提供的开关门装置的门体能够根据机械手进出甩干槽自动打开或关闭。 | ||
| 搜索关键词： | 开关门装置 第二支撑件 支撑件 门体 状态检测机构 驱动机构 甩干设备 传动连接 状态信号 与门 设备控制系统 机械手 加工设备 间隔设置 接收设备 控制系统 控制信号 驱动门体 手动开启 自动打开 检测门 甩干槽 单晶 传递 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种开关门装置，其特征在于，包括第一支撑件、第二支撑件、驱动机构、门体和状态检测机构；所述第一支撑件和所述第二支撑件间隔设置，所述门体位于所述第一支撑件和所述第二支撑件之间；所述驱动机构安装于所述第一支撑件，并与所述门体传动连接，所述驱动机构结构接收设备控制系统的控制信号以驱动所述门体打开和关闭；所述状态检测机构安装于所述第二支撑件，并与所述门体传动连接，所述状态检测机构能够检测所述门体所处状态、产生状态信号，并将所述状态信号传递至设备控制系统。
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