[发明专利]一种具有可动结构的器件的表面防护方法有效
| 申请号： | 201910025845.9 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109518185B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨兴;姚嘉林;王曦梓;高博航;陈钰瑄 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C16/455;C23C16/44;C23C14/24;C23C14/34;B05D5/00 |
| 代理公司： | 北京博讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11593 | 代理人： | 柳兴坤 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有可动结构的器件的表面防护方法，包括步骤：将器件置于化学气相沉积室内，在沉积温度‑20～400℃的条件下，将沉积材料均匀地沉积在器件的外围，在器件的外围形成第一保护层；采用原子层沉积技术在第一保护层的外围形成第二保护层；第二保护层为氧化物或金属形成的纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团等影响器件的液体分子的侵蚀；第一保护层为聚合物形成的微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团等液体分子的侵蚀。本发明的表面防护方法能提高对具有可动结构的器件的防护效果，保证具有可动结构的器件的精度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 结构 器件 表面 防护 方法 | ||
【主权项】：
1.一种器件的表面防护方法，其特征在于，包括步骤：S20、在所述器件的外围形成第一保护层；S30、在所述第一保护层的外围形成第二保护层；其中，所述第一保护层和所述第二保护层中的一者为纳米级涂层，用于防护10个以下的水或其它液体分子组成的小分子团的侵蚀、或者尺寸小于等于所述小分子团的离子或分子的侵蚀；所述第一保护层和所述第二保护层中的另一者为微米级防止液体影响的涂层，用于防护10个以上的水或其它液体分子组成的大分子团的侵蚀、或者尺寸大于等于所述大分子团的离子或分子的侵蚀；优选地，所述第一保护层为纳米级涂层，所述第二保护层为微米级防止液体影响的涂层。
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