[发明专利]晶圆清洗机构

摘要

本发明提供一种晶圆清洗机构，包括驱动电机、晶圆夹紧支架及晶圆喷洗机件，驱动电机上设置有进气口、进液口及接线口，驱动电机内部中空，驱动电机内设置有气流管路及液流管路，进气口与气流管路相通，进液口与液流管路相通；晶圆夹紧支架设置于驱动电机的输出轴上，晶圆喷洗机件设置于晶圆夹紧支架上；晶圆喷洗机件具有喷气管及喷液管，喷气管与气流管路相通，喷液管与液流管路相通。本发明晶圆清洗机构的结构设置较为科学，在晶圆的清洗作业时，能更好地对晶圆的下表面进行清洗，使晶圆的清洗效果更为理想，即晶圆表面有更好的洁净度及平整度，从而提升晶圆的加工质量，使得晶圆的加工质量更为理想。

主权项

1.晶圆清洗机构，其特征在于，包括驱动电机、晶圆夹紧支架及晶圆喷洗机件，所述驱动电机上设置有进气口、进液口及接线口，所述驱动电机内部中空，所述驱动电机内设置有气流管路及液流管路，所述进气口与气流管路相通，所述进液口与液流管路相通；所述晶圆夹紧支架设置于所述驱动电机的输出轴上，所述晶圆夹紧支架具有夹持部，所述晶圆夹紧支架的夹持部形成晶圆夹紧位；所述晶圆喷洗机件设置于所述晶圆夹紧支架上，并位于所述晶圆夹紧位下方；所述晶圆喷洗机件具有喷气管及喷液管，所述喷气管与所述气流管路相通，所述喷液管与所述液流管路相通。