[发明专利]机械手装置在审
| 申请号： | 201910028545.6 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109677928A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李玉敏;姚远;尹影;佀海燕;费玖海 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王术兰 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了机械手装置，其包括用于带动外接基片移动及放置于预设位置上的定位机械手、用于从将所述基片从预设位置取下并加工处理后的外接装置上将基片卸载的卸载机械手，卸载机械手将基片移动至预设工位；机械手装置还包括用于安装定位机械手的定位机械手导轨、用于安装卸载机械手的卸载机械手导轨，定位机械手导轨与卸载机械手导轨相互平行，卸载机械手导轨的水平面高度高于定位机械手导轨的水平面高度。在本发明中，由于定位机械手导轨与卸载机械手导轨相互平行设置，且定位机械手与卸载机械手不在同一水平线，由此，本发明的机械手装置不仅可以多工序同时进行，增加了效率，而且还节约了机械手装置的占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 卸载 定位机械手 机械手装置 机械手 机械手导轨 导轨 基片移动 预设位置 同一水平线 安装定位 平行设置 外接装置 占地空间 多工序 工位 取下 外接 预设 平行 节约 | ||
【主权项】：
1.机械手装置，其特征在于，包括用于带动外接基片移动及放置于预设位置上的定位机械手、用于从将所述基片从所述预设位置取下并加工处理后的外接装置上将基片卸载的卸载机械手，所述卸载机械手将所述基片移动至预设工位；所述机械手装置还包括用于安装所述定位机械手的定位机械手导轨、用于安装所述卸载机械手的卸载机械手导轨，所述定位机械手导轨与所述卸载机械手导轨相互平行，所述卸载机械手的水平面高度高于所述定位机械手的水平面高度。
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