[发明专利]基板处理装置以及控制方法有效
| 申请号： | 201910028583.1 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN110026869B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 原田稔;南条贵弘;竹中宏行;松田尚起 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/18 | 分类号： | B24B21/18;B24B21/20;B24B21/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供抑制成本，并且不需要对象处理的处理间的追加处理就使施加于处理带的张力恒定的基板处理装置以及控制方法。一种基板处理装置，使处理带抵接于处理对象物，通过该处理带和处理对象物的相对运动来处理该处理对象物，并且所述基板处理装置具有带供给卷轴、带回收卷轴、向带回收卷轴提供转矩的回收用电动机、送出处理带的带进给电动机以及控制带进给电动机的控制部，控制部使用由带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度，并配合由带回收卷轴卷绕的处理带的卷绕体的外径的变化来控制回收用电动机的转矩，以使得施加于该处理带的张力恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，使处理带抵接于处理对象物，通过该处理带和处理对象物的相对运动来处理该处理对象物，所述基板处理装置的特征在于，具备：带供给卷轴，该带供给卷轴用于供给处理带；带回收卷轴，该带回收卷轴用于回收所述处理带；回收用电动机，该回收用电动机向所述带回收卷轴提供转矩；带进给电动机，该带进给电动机在所述带供给卷轴与所述带回收卷轴之间送出所述处理带；以及控制部，该控制部控制所述带进给电动机，所述控制部使用由所述带进给电动机送出的带进给长度和该处理带的厚度，并配合由所述带回收卷轴卷绕的处理带的卷绕体的外径的变化来控制所述回收用电动机的转矩，以使得施加于该处理带的张力恒定。
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