[发明专利]一种基于MES的晶圆测试方法及系统在审
| 申请号： | 201910031026.5 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111435146A | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 金兰 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G06F9/451 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种基于MES的晶圆测试方法及系统，该方法包括：根据待测晶圆的批次信息，在MES上获取对应的测试信息，并将批次信息及测试信息存储到测试机的配置文件中；其中，测试信息包括测试程序存储路径；然后，启动测试机UI模块；测试机UI模块通过读取配置文件获取测试程序存储路径，调用测试程序存储路径中存储的测试程序，启动测试机利用测试程序对待测晶圆进行测试。本发明实施例提供的基于MES的晶圆测试方法及系统，克服了直接使用UI样本程序的不足和缺陷，将之前在UI上的大量手动录入操作代替为系统自动操作，减轻操作员工作量，降低误操作的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mes 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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