[发明专利]在工件上进行派瑞林镀膜的方法及装置有效
| 申请号： | 201910032563.1 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN109772654B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 云洋 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05C9/02;C08G61/02;C09D165/00;C09D5/08;C09D5/25 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在工件上进行派瑞林镀膜的方法，包括以下步骤：将工件静置于箱体内，所述工件均匀设置在所述箱体内；向箱体内通入用于镀膜的含有派瑞林的气体，所述气体自箱体的进气口进入后从所述箱体的排气口排出；在向箱体内通气时，控制所述箱体内的温度以使所述温度自所述进气口至所述排气口的方向依次降低。具有镀膜均匀度高、工作效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 进行 派瑞林 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种在工件上进行派瑞林镀膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：将工件静置于箱体内，所述工件均匀设置在所述箱体内；向箱体内通入用于镀膜的含有派瑞林的气体，所述气体自箱体的进气口进入后从所述箱体的排气口排出；在向箱体内通气时，控制所述箱体内的温度以使所述温度自所述进气口至所述排气口的方向依次降低。
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