[发明专利]一种新型氮化物发光二极管在审

专利信息
申请号: 201910032651.1 申请日: 2019-01-14
公开(公告)号: CN109755364A 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 顾伟 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;B82Y40/00
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地址: 330000 江西省南昌市南昌高新技*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种新型氮化物发光二极管,包括衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层、非掺杂氮化物层、n型氮化物层、有源层、电子阻挡层和p型氮化物层;其中:所述p型氮化物层包括依次位于电子阻挡层上的空穴注入层、空穴扩散层和p型接触层,所述电子阻挡层为厚度1~10 nm的AlN。本发明的优点在于:采用带隙宽度大(6.2eV)且厚度薄(1~10 nm)的氮化铝电子阻挡层,可有效防止电子从有源层向p型氮化物层溢流,氮化铝电子阻挡层的厚度薄,可避免阻碍空穴从p型氮化物层向有源层迁移;同时在空穴注入层和p型接触层之间插入10~50 nm厚的p型AlxInyGa1‑x‑yN作为空穴扩散层,其带隙宽度大于p型接触层和空穴注入层的带隙宽度,可以提高p型氮化物层中空穴的侧向扩展能力。
搜索关键词: 电子阻挡层 空穴 空穴注入层 带隙 源层 氮化物发光二极管 氮化铝 扩散层 衬底 非掺杂氮化物层 侧向扩展 缓冲层 中空穴 溢流 迁移 阻碍
【主权项】:
1.一种新型氮化物发光二极管,包括衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层、非掺杂氮化物层、n型氮化物层、有源层、电子阻挡层和p型氮化物层,其特征在于:所述p型氮化物层包括依次位于电子阻挡层上的空穴注入层、空穴扩散层和p型接触层,所述电子阻挡层为厚度1~10 nm的AlN,所述空穴扩散层为厚度10~50 nm的p型AlxInyGa1‑x‑yN,其中0.05≤x≤0.5、0≤y≤0.03。
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