[发明专利]一种烘干系统在审
| 申请号： | 201910032824.X | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN109813067A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 戴洪烨 | 申请（专利权）人： | 上海釜川自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;F26B21/04;F26B21/10;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 梁永昌 |
| 地址： | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种烘干系统，包括烘干槽体，所述烘干槽体呈上开口的结构，所述烘干槽体内放置有带硅片的载具，所述烘干槽体外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板。本发明结构紧凑，烘干效率得到大幅提升，传统烘干系统需要600秒烘干时间，采用结构烘干系统只需要200秒即可；且本发明体积小，可安装在设备内部，烘干效率较传统烘干系统有大幅度提升。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干系统 烘干槽体 上开口 烘干结构 烘干效率 加热系统 活动盖板 设备内部 烘干槽 可安装 体积小 通风孔 硅片 烘干 载具 开口 体内 | ||
【主权项】：
1.一种烘干系统，包括烘干槽体(3)，所述烘干槽体(3)呈上开口的结构，所述烘干槽体(3)内放置有带硅片的载具，其特征在于，所述烘干槽体(3)外设有上开口的加热系统，所述烘干槽体(3)的底部设有连同加热系统的通风孔，形成上开口的循环烘干结构，所述循环烘干结构的开口上设有活动盖板(2)。
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