[发明专利]一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法有效
| 申请号： | 201910032973.6 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111435222B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 戴思雨;赵丹平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种运动台随动压力补偿装置、光刻机系统及其驱动方法。该补偿装置包括：至少两条压力补偿通道、压力源和压力补偿控制模块，压力补偿通道位于运动台内部，至少两条压力补偿通道的第一通道口分别位于运动台的运动迎风面和运动背风面；压力源与压力补偿通道的第二通道口导通，压力源为压力补偿通道提供正压或负压；压力补偿控制模块分别与运动台的驱动模块和压力源电连接，用于实时接收驱动模块中运动台的驱动信息，并根据运动台的驱动信息实时控制压力源提供正压或负压。本发明实施例可以直接对运动状态下的运动台产生的压力波动进行补偿，保证了运动台所在空间中的压力稳定，有助于保证测量系统的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 台随动 压力 补偿 装置 光刻 系统 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
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