[发明专利]一种光学界面面型测量的方法在审
| 申请号： | 201910035626.9 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109655012A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨火木;李洪儒;邓国亮 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用超短脉冲激光对多界面目标体的界面面型进行测量的方法。包括步骤：选择超短脉冲激光光源；超短激光脉冲经光谱滤波后，进入迈克尔逊干涉仪，被分光镜分为两束光，一束光由参考镜反射进入干涉光接收系统作为参考光；另一束则由目标体待测界面反射进入干涉光接收系统作为信号光；调节迈克尔逊干涉仪参考臂长度或测量臂长度，使得参考光只与目标体待测界面反射回来的信号光产生干涉，而不会与目标体的其它界面反射回来的信号光产生干涉，计算机系统根据采集到的双界面干涉条纹得出待测界面的面型。本发明通过利用超短脉冲之间的相干特性，实现对多界面目标体的界面面型测量，是一种新型的测量方法，具有简单、稳定、效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 目标体 界面反射 信号光 迈克尔逊干涉仪 接收系统 面型测量 参考光 多界面 干涉光 面型 测量 超短脉冲激光光源 超短激光脉冲 超短脉冲激光 超短脉冲 干涉条纹 光学界面 相干特性 参考臂 参考镜 测量臂 分光镜 双界面 干涉 计算机系统 光谱 滤波 反射 采集 | ||
【主权项】：
1.一种光学界面面型测量的方法，其特征在于采用超短脉冲激光，通过迈克尔逊干涉仪结构，实现对多界面目标体的界面面型进行测量，包括以下步骤：S101选择超短脉冲激光；S102激光脉冲通过滤光片，实现光谱滤波；S103滤波后的激光脉冲进入迈克尔逊干涉仪；S104通过调节迈克尔逊干涉仪中参考臂长度，获取参考光和待测界面返回的信号光的干涉条纹；S105根据S104获取的干涉条纹，得出待测光学界面的面型。
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