[发明专利]一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构有效
| 申请号： | 201910037555.6 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109696716B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张建付;陶忠;昌明;杨崇民;刘永强;李明伟;米高园;王松林;师建涛;刘青龙;王颖辉;陈朝平;郭鸿香 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;G02B1/14 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 陈星 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；本发明可实现1.064μm激光和7.5μm～10.0μm长波红外在0°～76°超宽角度范围内的高透过，膜层牢固，同时具备高强度，能够通过国军标GJB 150—2009中的风洞、砂尘、淋雨、盐雾、湿热、温度冲击等严酷的环境试验，能够满足雷达隐身高速武器平台的多光谱硫化锌光学窗口的应用需求，能够应用于隐身机载、隐身舰载等高速武器平台多波段共光路光学系统的隐身光学窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 激光 长波 红外 波段 高强 减反射膜 结构 | ||
【主权项】：
1.一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，其特征在于：由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；各膜层厚度为：
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