[发明专利]一种利用无表面活性剂溶液去除金属衬底表面杂质石墨烯的方法在审
| 申请号： | 201910038038.0 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109735825A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 韩合坤;李涛 | 申请（专利权）人： | 无锡第六元素电子薄膜科技有限公司;无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人： | 肖淑芳;勾昌羽 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用无表面活性剂溶液去除金属衬底表面杂质石墨烯的方法，包括利用盐酸‑双氧水溶液体系作为喷淋液，向金属衬底需要去除杂质石墨烯的一面喷淋喷淋液。本发明提供的方法是对金属衬底表面的杂质石墨烯进行去除和对金属衬底进行减薄，去除杂质石墨烯的过程中无需添加对环境有害的表面活性剂，减薄的金属衬底厚度均一。 | ||
| 搜索关键词： | 金属衬 石墨烯 去除 无表面活性剂 表面杂质 溶液去除 喷淋液 减薄 表面活性剂 双氧水溶液 厚度均一 喷淋 盐酸 | ||
【主权项】：
1.一种用于去除CVD石墨烯金属衬底表面杂质石墨烯的盐酸‑双氧水溶液体系，其特征在于：所述溶液体系由盐酸和双氧水组成，其中，HCL含量为15～40g/L，H2O2含量为0.05～0.2mol/L。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
