[发明专利]一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器在审
申请号: | 201910039012.8 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN109768098A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 詹健龙;宋禹析 | 申请(专利权)人: | 浙江焜腾红外科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/109 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 丁鹏 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器,所述二类超晶格光探测器的吸收区包括有InAsBi层和GaSbBi层。所述InAsBi层和GaSbBi层中Bi元素含量均小于15%。吸收区的结构为:7ML InAs0.95Bi0.05/10ML GaSb0.95Bi0.05。本发明通过在传统的InAs/GaSb二类超晶格光探测器的InAs层和GaSb层中凝入Bi元素,形成InAsBi层和GaSbBi层,从而在不改变探测器截止波长及探测器性能的前提下,能够有效降低二类超晶格光探测器材料的周期厚度以及材料总厚度,减少材料使用成本及分子束外延生长成本。同时还能提高材料的整体吸收系数,减少整个器件体积。 | ||
搜索关键词: | 光探测器 超晶格 吸收区 分子束外延 改变探测器 减少材料 截止波长 整体吸收 传统的 探测器 生长 | ||
【主权项】:
1.一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器,其特征在于,所述二类超晶格光探测器的吸收区包括有InAsBi层和GaSbBi层。
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