[发明专利]一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器在审

专利信息
申请号: 201910039012.8 申请日: 2019-01-16
公开(公告)号: CN109768098A 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 詹健龙;宋禹析 申请(专利权)人: 浙江焜腾红外科技有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/109
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 丁鹏
地址: 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器,所述二类超晶格光探测器的吸收区包括有InAsBi层和GaSbBi层。所述InAsBi层和GaSbBi层中Bi元素含量均小于15%。吸收区的结构为:7ML InAs0.95Bi0.05/10ML GaSb0.95Bi0.05。本发明通过在传统的InAs/GaSb二类超晶格光探测器的InAs层和GaSb层中凝入Bi元素,形成InAsBi层和GaSbBi层,从而在不改变探测器截止波长及探测器性能的前提下,能够有效降低二类超晶格光探测器材料的周期厚度以及材料总厚度,减少材料使用成本及分子束外延生长成本。同时还能提高材料的整体吸收系数,减少整个器件体积。
搜索关键词: 光探测器 超晶格 吸收区 分子束外延 改变探测器 减少材料 截止波长 整体吸收 传统的 探测器 生长
【主权项】:
1.一种能够缩减吸收区厚度的二类超晶格光探测器,其特征在于,所述二类超晶格光探测器的吸收区包括有InAsBi层和GaSbBi层。
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