[发明专利]硅晶圆用切削液及其制备方法、及切削方法在审
| 申请号： | 201910039068.3 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109810770A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 温绿辉;温永育 | 申请（专利权）人： | 惠州市阿特斯润滑技术有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10M177/00;B28D7/02;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/18 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 刘羽 |
| 地址： | 516006 广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种硅晶圆用切削液，包括如下质量份的各组分：聚乙二醇25份～40份、烷基酚聚氧乙烯醚20份～35份、三乙醇8份～15份、聚醚多元醇7份～11份、聚丙二醇4份～9份、润湿剂3份～8份、螯合剂3份～6份、防锈剂2份～6份和水23份～55份，通过采用特定比例的各组分，相互协同配合，使得上述硅晶圆用切削液具有更加优异的润滑和导热性能，大大减少了硅晶圆在切割过程中发生脆性崩裂或划痕的问题，同时使得所述硅晶圆用切削液的防腐防锈性能更好，减少了硅晶圆切削设备发生锈腐蚀的问题，大大提高了切割设备的使用寿命和硅晶圆的成品率。此外，本发明还提供了一种硅晶圆用切削液的制备方法及硅晶圆切削方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅晶圆 切削液 切削 制备 烷基酚聚氧乙烯醚 防腐防锈性能 聚醚多元醇 脆性 导热性能 聚丙二醇 聚乙二醇 切割过程 切割设备 切削设备 使用寿命 崩裂 成品率 防锈剂 润湿剂 质量份 螯合剂 划痕 乙醇 腐蚀 协同 配合 | ||
【主权项】：
1.一种硅晶圆用切削液，其特征在于，包括如下质量份的各组分：![]()
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