[发明专利]一种溶剂生产设备、溶剂制备及取用方法

摘要

本发明适用于光刻胶制备技术领域，提供了一种溶剂生产设备、溶剂制备及取用方法。该溶剂生产设备包括含循环过滤组件的制备系统以及利用氮气压料方式取料的取用系统。本发明中的溶剂生产设备，通过循环过滤方式来有效过滤掉溶剂中的颗粒度，并通过氮气压料方式来进行取料，整个过程在密封或氮气环境下运行，颗粒度控制较好，可长时间保持溶剂的纯度以及可避免溶剂在使用前被环境污染。

主权项

1.一种溶剂生产设备，其特征在于，包括：制备系统，包括原料储存罐、溶剂储存罐、循环过滤器及输送泵，所述溶剂储存罐上设有进液口、出气口及吸液管，所述吸液管的下端深入至所述溶剂储存罐底部，所述循环过滤器和所述输送泵通过管路串连成一循环过滤组件，所述循环过滤组件的进入口通过带第一开关阀门的通气管与氮气气源连接，其排出口连接所述进液口，所述原料储存罐通过带进料阀门的进气管路与所述循环过滤组件的进入口连接，所述出气口通过出气管路与所述氮气气源连接，所述吸液管上端通过循环管路与所述循环过滤组件的进入口连接；以及取用系统，包括取用过滤器及取用瓶，所述取用过滤器的进液口通过带取液阀门的取液管路与所述吸液管连接，所述取用过滤器的出液口通过出液管路与所述取用瓶连接，所述出液管路通过带第二开关阀门的进气管路与所述氮气气源连接。