[发明专利]一种铝旋转靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 201910041672.X | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109706422A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/32;C23C14/34 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 旋转靶材 冷喷涂 制造 基管 铝粉末 热喷涂 粉末利用率 规模化生产 表面喷砂 不锈钢管 传动设备 晶粒组织 平均粒径 制造工艺 机加工 送粉器 喷涂 自转 材基 对靶 良率 喷枪 细化 钛管 装入 成型 | ||
【主权项】：
1.一种铝旋转靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制造平均粒径D50为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。
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