[发明专利]研磨头施压参数的检测方法及系统在审
| 申请号： | 201910042440.6 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111451936A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 古進忠;彭竑凯;宋受壮 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种研磨头施压参数的检测方法及系统，方法包括：提供一待检测研磨头；设定待检测研磨头的使用模式，以及基于使用模式和预先建立的数据库，设定待检测研磨头在所述使用模式下的施压参数为第一设定值；在待检测研磨头上放置薄膜感测片，并利用待检测研磨头在使用模式下对薄膜感测片施压，以由薄膜感测片检测待检测研磨头的第一实际施压参数，并验证第一实际施压参数与第一设定值相差是否小于预设值；当第一实际施压参数与第一设定值相差小于预设值时，摘除薄膜感测片，并利用待检测研磨头在所述使用模式下依照所述第一设定值研磨晶圆。所述方法可以确保晶圆的研磨效果，提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 施压 参数 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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