[发明专利]一种提高激光图案化加工均匀性的方法有效
| 申请号： | 201910043389.0 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109590604B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;李晓炜;王志鹏 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;B23K26/06;G03H1/32 |
| 代理公司： | 11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法，属于激光应用技术领域。本发明通过采用隔行拆分的方法，将待加工图案拆解成一系列的子图案，依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图，而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场，利用整形光场在材料上加工出各个整形光场所对应的子图案，这些子图案最终组合成完整的加工图案。以此解决采用单张相位图进行激光空间光场整形加工时，由于光场的斑点噪声所带来的能量沉积不均的问题，从而达到提高激光图案化加工均匀性的目的。该方法原理简单，显著提高了加工结果的均匀性，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 子图案 激光图案化 加工均匀性 相位图 整形 光场 加工 空间光调制器 能量沉积 均匀性 空间光 图案 隔行 激光 激光应用技术 斑点噪声 迭代算法 加工结果 整形加工 整形图案 傅里叶 拆解 载入 | ||
【主权项】：
1.一种提高激光图案化加工均匀性的方法，其特征在于：具体步骤如下：/n步骤一、根据加工精度的需求或者图案的复杂程度，将目标整形光场，即待加工图案，像素化成矩阵A
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