[发明专利]基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法有效
申请号: | 201910045363.X | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN109884053B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 王伟波;吴必伟;刘俭;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法属于非线性光学测量领域;在谐波显微测量中,将谐波信号的探测方向垂直于样品照明方向,从而实现谐波显微中的片光测量。将sCMOS作为探测器并采用滚动快门工作模式实现共焦狭缝探测。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入转接光学系统进行球差补偿,接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号,被垂直于照明方向的探测物镜收集后经过窄带滤光片滤除杂散光,被工作在滚动快门模式的sCMOS接收探测。扫描过程与滚动快门对接同步,通过算法合成不同位置像素的谐波图像。该方法可有效提升谐波显微成像的对比度和信噪比,并且实现高帧率的谐波显微成像。 | ||
搜索关键词: | 基于 显微 狭缝 探测 谐波 测量方法 | ||
【主权项】:
1.基于片光显微和共焦狭缝探测的谐波显微测量方法,将谐波信号的探测方向垂直于样品照明方向,从而实现谐波显微中的片光测量。将sCMOS作为探测器并采用滚动快门工作模式实现共焦狭缝探测。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入转接光学系统进行球差补偿,接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号,被垂直于照明方向的探测物镜收集后经过窄带滤光片滤除杂散光,被工作在滚动快门模式的sCMOS接收探测。扫描过程与滚动快门对接同步,通过算法合成不同位置像素的谐波图像。其特征在于将片光显微以及狭缝共焦探测与谐波显微成像技术有机结合。
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