[发明专利]一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构

摘要

本发明公开了一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，包括外环、外环固定螺纹、侧梁、应变梁、内环、内环固定螺纹和石英振梁芯片，石英振梁芯片是一种谐振式力或位移敏感芯片，当其受到拉伸或压缩作用时，其谐振频率发生变化，并且谐振频率的变化量与拉伸或压缩量成正比。发明由于采用石英振梁芯片对应变梁的弯曲变形进行测量，极大地提高了传感器的灵敏度，在此基础上，可以有效的提高弹性体的设计刚度，减小了传感器的受力变形，为六轴力传感器在机器人领域的应用提供更好的位置精度和适用性。

主权项

1.一种基于石英振梁的六轴力传感器敏感结构，包括外环(1)、外环固定螺纹(2)、侧梁(3)、应变梁(4)、内环(5)、内环固定螺纹(6)和石英振梁芯片(7)，其特征在于：所述外环(1)上间隔均匀的开设有若干个外环固定螺纹(2)，所述内环(5)上间隔均匀的开设有若干个内环固定螺纹(6)，所述内环(5)与外环(1)之间通过三个或三个以上的应变梁(4)进行连接，并在其中至少三个应变梁(4)上布置石英振梁芯片(7)，所述石英振梁芯片(7)的两端采用粘接或焊接的方法，分别固定于应变梁(4)的两端。