[发明专利]压阻式加速度传感器有效
| 申请号： | 201910047934.3 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109596859B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张广平;王伟忠 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 秦敏华 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压阻式加速度传感器，属于加速度传感器领域，包括：框架，内部设有活动腔；质量块，活动设于活动腔中；敏感梁，长轴两端分别通过设有压敏元件的测量段与框架和质量块连接；以及第一支撑梁，长轴两端分别与敏感梁和框架连接，第一支撑梁在质量块感测方向上的刚度小于在与质量块感测方向垂直的方向上的刚度。通过第一支撑梁加固敏感梁，第一支撑梁在质量块感测方向上的度较小，使压阻式加速度传感器保持较高的灵敏度；第一支撑梁在与质量块感测方向垂直的方向上的刚度较大，使传感器在面对敏感方向以外的方向上的加速度时，减小敏感梁和测量段的变形，避免敏感梁和测量段断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻式 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压阻式加速度传感器，其特征在于，包括：框架(1)，内部设有活动腔；质量块(2)，活动设于所述活动腔中；敏感梁(3)，长轴两端分别通过设有压敏元件(43)的测量段(4)与所述框架(1)和所述质量块(2)连接；以及第一支撑梁(5)，长轴两端分别与所述敏感梁(3)和所述框架(1)连接，所述第一支撑梁(5)在所述质量块(2)感测方向上的刚度小于在与质量块(2)感测方向垂直的方向上的刚度。
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