[发明专利]背电极、太阳能电池及其制备方法在审
| 申请号： | 201910048917.1 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109888027A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 赵树利;杨立红;郭逦达 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种背电极、太阳能电池及其制备方法，该太阳能电池背电极的制备方法，包括如下步骤：在基板制备光刻胶层，并在光刻胶层上制备多条贯穿光刻胶层厚度、且间隔布置的第一刻划区；在基板和光刻胶层的表面上制备绝缘层；在绝缘层上制备非金属层；采用清洗工艺将光刻胶层以及其上的绝缘层和非金属层除去；在基板和非金属层上制备背电极层；采用清洗工艺将非金属层以及非金属层上的背电极层除去，形成背电极。利用光刻技术替代激光刻划完成背电极的分割，避免激光刻划对基板的损伤；同时在第一刻划区(P1)刻划线内进行绝缘介质填充，减少死区的面积，增大发电区的面积，提高发电效率。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 非金属层 光刻胶层 背电极 绝缘层 刻划 太阳能电池 背电极层 清洗工艺 基板 激光 绝缘介质填充 发电效率 光刻技术 基板制备 间隔布置 对基板 发电区 刻划线 死区 损伤 分割 贯穿 替代 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S11、在基板(1)上制备光刻胶层(2)，并在所述光刻胶层(2)上制备多条贯穿所述光刻胶层(2)厚度、且间隔布置的第一刻划区；S12、在所述基板(1)和所述光刻胶层(2)的表面上制备绝缘层(3)；S13、在所述绝缘层(3)上制备非金属层(4)；S14、采用清洗工艺将所述光刻胶层(2)以及其上的所述绝缘层(3)和所述非金属层(4)除去；S15、在所述基板(1)和所述非金属层(4)上制备背电极层(5)；S16、采用清洗工艺将所述非金属层(4)以及所述非金属层(4)上的所述背电极层(5)除去，形成由所述第一刻划区内的所述绝缘层(3)分隔开的多个背电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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