[发明专利]振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置有效
| 申请号： | 201910052463.5 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN110071701B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 小仓诚一郎;山口启一;押尾政宏;山崎隆 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/13;G01C19/5663;G01C19/5628;G01C19/5621;G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘畅;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 及其 制造 方法 物理量 传感器 惯性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种振动元件，其具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，该振动元件的特征在于，所述施重部具有在所述振动元件的厚度方向上处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第2主面侧的位置。
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