[发明专利]放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法有效
| 申请号： | 201910052762.9 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110058493B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;菊池孝幸;白数广 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J5/50;H01J61/52;H01J61/86 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法，放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于发光部而分别设在玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，在该放电灯中，第1灯座部件具有：被连结部，其供将来自曝光装置的电力向发光部传递的部件连结；和被保持部，其能够由搬送部保持。 | ||
| 搜索关键词： | 电灯 及其 更换 方法 点亮 制造 | ||
【主权项】：
1.一种更换方法，用于更换放电灯，该放电灯具有：将包含沿规定方向相对设置的阳极及阴极的发光部覆盖的玻璃部件；和关于所述规定方向设在所述玻璃部件的一侧的第1灯座部件及设在另一侧的第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，所述更换方法包括：使与所述放电灯的所述第1灯座部件的被连结部连结且将来自所述曝光装置的电力向所述发光部传递的部件从所述被连结部脱离；使所述放电灯的所述第2灯座部件从所述支承部件脱离；和保持所述放电灯的所述第1灯座部件的被保持部并将所述放电灯从所述支承部件向保管部搬送。
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