[发明专利]一种基板镀膜设备有效
| 申请号： | 201910052854.7 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109735813B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 谭伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板镀膜设备，包括：腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。本发明将传统冷却系统分成吸热和散热两部分分开；同时在运载基板上增加有弹力设置的吸热板支撑柱，通过吸热板取代现有基板夹具，整面压合基板，解决目前的使用大开口掩膜板成膜造成的阴影的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基板镀膜设备，其特征在于，包括腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。
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