[发明专利]衬底支撑设备及其制造方法

摘要

本公开提供一种衬底支撑设备，其包含：安装部分，设置有与衬底接触使得衬底安装于其上的第一主体和被配置成包围第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在安装部分下方以便支撑安装部分，其中第一主体和第二主体包含多个突起，且设置在第一主体上的突起的上表面的面积形成为大于设置在第二主体上的突起的上表面的面积，因此可稳定地支撑衬底。

主权项

1.一种衬底支撑设备，包括：安装部分，包括与衬底接触使得所述衬底安装于其上的第一主体以及被配置成包围所述第一主体的第二主体；以及支撑部分，连接在所述安装部分下方以便支撑所述安装部分，其中所述第一主体以及所述第二主体包括多个突起，且设置在所述第一主体上的所述多个突起的上表面的面积形成为大于设置在所述第二主体上的所述多个突起的上表面的面积。