[发明专利]靶材的清洗方法在审
| 申请号： | 201910054213.5 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111451190A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;魏小林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的清洗方法，包括以下步骤：提供靶材；对所述靶材进行喷洒清洗。通过向所述靶材表面喷射清洗剂进行清洗，在清洗的过程中，不会产生摩擦，有效解决了靶材在清洗过程中造成表面擦伤的问题，提升了靶材表面的光洁度。进一步的，还可以向所述靶材表面喷射高压气体，吹干所述清洗剂，同时也带走污渍，从而提高了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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