[发明专利]晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法及其光刻轨道设备有效

专利信息
申请号: 201910054828.8 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN109830446B 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 马海买提;董维 申请(专利权)人: 武汉衍熙微器件有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G03F7/20
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 王丹
地址: 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法及其轨道设备,在光刻工艺的显影之前,在白光光源照射下,对晶圆表面薄膜进行第一次拍照,因粗糙度不同,晶圆表面薄膜对不同波长的光的反射不同,得到一定颜色的照片;在显影之后,在白光光源照射下,对所述的晶圆表面薄膜进行第二次拍照;将第一次拍照的照片与第二次拍照的照片的颜色进行比较,颜色变化越大,说明晶圆表面薄膜粗糙度的变化越大。不同波长的光反射后呈现的颜色变化越大,反应所拍晶圆表面薄膜粗糙度变化也越大,本发明利用这一原理,只需要在原工艺中增加白光光源和摄像单元,即可简单、方便、快速的在线检测晶圆表面薄膜粗糙度变化,无需线下复杂检测,提高效率,同时节约成本。
搜索关键词: 表面 薄膜 粗糙 在线 检测 方法 及其 光刻 轨道 设备
【主权项】:
1.一种晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法,其特征在于:在光刻工艺的显影之前,在白光光源照射下,对晶圆表面薄膜进行第一次拍照,因粗糙度不同,晶圆表面薄膜对不同波长的光的反射不同,得到一定颜色的照片;在显影之后,在白光光源照射下,对所述的晶圆表面薄膜进行第二次拍照;将第一次拍照的照片与第二次拍照的照片的颜色进行比较,颜色变化越大,说明晶圆表面薄膜粗糙度的变化越大。
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