[发明专利]一种适用于压电单晶材料的极化方法有效
申请号: | 201910058668.4 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN111463343B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 刘锦峰;许桂生;朱秀;陈梅林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | H01L41/257 | 分类号: | H01L41/257 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;邹蕴 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种适用于压电单晶材料的极化方法,具备分区步骤和极化步骤,分区步骤中,将环形的材料均等分割为若干区域,并使分割后的各区域在上下表面上形成导电电极,且相邻区域具有相反的压电性能符号,极化步骤中,选择一个以上压电性能符号相同的区域进行极化处理,而后在未极化处理的区域中继续选择一个以上压电性能符号相同的区域进行极化处理,直至各区域均完成。根据本发明,能够高效优质地对压电单晶材料进行分区极化,压电单晶材料性能均匀性好,且压电单晶材料不容易碎裂,成品率高。能够保证压电单晶材料很好的用于超声电机等压电器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 压电 材料 极化 方法 | ||
【主权项】:
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