[发明专利]一种分光装置有效
| 申请号： | 201910059059.0 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111458893B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 徐建旭;兰艳平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/14 | 分类号： | G02B27/14 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种分光装置。该分光装置包括第一分光单元和第二分光单元，第一分光单元和第二分光单元分别包括相互垂直的第一反射面和第二反射面；入射光线入射到第一反射面形成第一反射光线，第一反射光线入射到第二反射面形成第二反射光线；入射光线与第一反射光线所在平面为第一入射面，偏振方向平行和垂直于第一入射面的入射光线在第一反射面的反射率分别为第一反射率和第二反射率；第一反射光线与第二反射光线所在平面为第二入射面，偏振方向平行和垂直于第二入射面的第一反射光线在第二反射面的反射率分别为第三反射率和第四反射率；第一反射率等于第三反射率，第二反射率等于第四反射率。本发明的技术方案，实现分光后不改变光束的偏振特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分光 装置 | ||
【主权项】：
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