[发明专利]MOS栅晶体管及其构建方法有效

专利信息
申请号: 201910059680.7 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN111463269B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 樱井建弥;吴磊;曹明霞 申请(专利权)人: 上海睿驱微电子科技有限公司
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L21/331;H01L29/06
代理公司: 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 代理人: 刘元霞
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种MOS栅晶体管及其构建方法,其包括:发射极、多晶硅栅极结构、n型多晶硅层、p基极区、n+型发射区、n‑型漂移区、n型缓冲区、p型集电极区、以及集电极;n‑型漂移区的上方设置n型多晶硅层,n型多晶硅层中形成有p基极区以及n+型发射区;n型多晶硅层上设置有多晶硅栅极结构,其包括从下而上设置栅氧化层、多晶硅栅膜以及含硼及磷的硅化物,含硼及磷的硅化物上方设置有发射极;p基极区以及n+型发射区上方设置有接触孔;n‑型漂移区的下方设置n+型缓冲区,n+型缓冲区的下方依次设置p型集电极区及集电极。本发明的MOS栅晶体管能兼顾通态电压及关断时间两个参数的取值,实现比较理想的载流子分布。
搜索关键词: mos 晶体管 及其 构建 方法
【主权项】:
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