[发明专利]MOS栅晶体管及其构建方法有效
申请号: | 201910059680.7 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN111463269B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 樱井建弥;吴磊;曹明霞 | 申请(专利权)人: | 上海睿驱微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L21/331;H01L29/06 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 刘元霞 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种MOS栅晶体管及其构建方法,其包括:发射极、多晶硅栅极结构、n型多晶硅层、p基极区、n+型发射区、n‑型漂移区、n型缓冲区、p型集电极区、以及集电极;n‑型漂移区的上方设置n型多晶硅层,n型多晶硅层中形成有p基极区以及n+型发射区;n型多晶硅层上设置有多晶硅栅极结构,其包括从下而上设置栅氧化层、多晶硅栅膜以及含硼及磷的硅化物,含硼及磷的硅化物上方设置有发射极;p基极区以及n+型发射区上方设置有接触孔;n‑型漂移区的下方设置n+型缓冲区,n+型缓冲区的下方依次设置p型集电极区及集电极。本发明的MOS栅晶体管能兼顾通态电压及关断时间两个参数的取值,实现比较理想的载流子分布。 | ||
搜索关键词: | mos 晶体管 及其 构建 方法 | ||
【主权项】:
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