[发明专利]石墨盘检测方法和装置有效
| 申请号： | 201910060012.6 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN109870416B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 乔楠;李昱桦;刘旺平;胡加辉;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/95;G01N29/04;C23C16/44;B07C5/38;B07C5/36;B07C5/34 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种石墨盘检测方法和装置，属于外延技术领域。该方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。通过上述石墨盘检测过程，能够提高后续外延生长质量，提高发光二极管的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种石墨盘检测方法，其特征在于，所述方法包括：拍摄石墨盘的表面，得到所述石墨盘的表面图像；根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在破损；当所述石墨盘的表面不存在破损时，根据所述石墨盘的表面图像判断所述石墨盘的表面是否存在色差；当所述石墨盘的表面不存在色差时，对所述石墨盘进行超声波扫描，得到所述石墨盘的反射率；根据所述石墨盘的反射率对所述石墨盘进行分类，同一外延生长设备采用同一类所述石墨盘进行外延生长。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华灿光电（浙江）有限公司，未经华灿光电（浙江）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910060012.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
