[发明专利]一种透明薄膜厚度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910060181.X | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111189397A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李跃勋;杜涛 | 申请（专利权）人： | 云南民族大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 650000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明薄膜厚度测量装置，包括：平行光管、圆盘载物台、望远镜系统、CCD、上位机和待测样品；所述平行光管与所述望远镜系统关于所述圆盘载物台的圆心对称设置；所述望远镜系统垂直于所述CCD的接收面设置；所述CCD与上位机连接；所述待测样品放置在所述圆盘载物台的直径上，且垂直于所述圆盘载物台。本发明公开提供了一种透明薄膜厚度测量装置及方法，能够快速高效的得到镀膜厚度，从而可以控制某些波长的反射光在上下界面的干涉相消或干涉相长；进一步获得高精度的镀膜厚度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 薄膜 厚度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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