[发明专利]一种晶圆抛光交换系统及方法在审
| 申请号： | 201910063145.9 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109605211A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 顾海洋;杨思远;古枫 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 刘琰;贾慧琴 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆抛光交换系统及方法，该系统包含：晶圆装载机构，用于抛光区域内对晶圆的传输；机械手，设置在可及晶圆装载机构的位置，机械手直接从抛光区域内的晶圆装载机构上抓取已抛光晶圆并将已抛光晶圆传送给后续单元，该后续单元为一待清洗晶圆盒。其优点是：减少了晶圆交换机构这一传输工序以及机械结构，降低了晶圆和外界交换的传输时间，增加了晶圆交换整体的稳定性同时提高了空间利用率，降低了加工、控制以及维护成本，避免了晶圆因为长时间等待而导致表面结晶的问题，同时，将传统的固定式待清洗晶圆架改为移动式待清洗晶圆盒，使得晶圆的传输效率得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 装载机构 清洗 机械手 后续单元 交换系统 抛光晶圆 抛光区域 晶圆盒 抛光 传输 种晶 抓取 空间利用率 表面结晶 传输效率 机械结构 交换机构 时间等待 传统的 固定式 移动式 交换 加工 维护 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆抛光交换系统，其特征在于，包含：抛光区域工作台；晶圆装载机构，设置在抛光区域工作台上，用于抛光区域内对晶圆的传输；机械手，设置在可及晶圆装载机构的位置；抛光区域罩壳，罩住抛光区域工作台，且其对应机械手的位置设有一窗口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州众硅电子科技有限公司，未经杭州众硅电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910063145.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种研磨头及化学机械研磨设备
- 下一篇：用于电子设备外壳的高精度加工装置
