[发明专利]晶圆再验的方法

摘要

本发明关于一种晶圆再验的方法，其包括以下步骤：提供一晶圆，其设有复数晶粒；提供复数探针组，各探针组包括复数探针，探针用以检测晶粒；令复数探针组以一第一阀值为基准分别对复数晶粒进行检测，以将复数晶粒区分成复数第一晶粒及复数再验晶粒，各第一晶粒所测得的数据高于第一阀值，各再验晶粒所测得的数据低于第一阀值；进行一智慧筛选作业，以一第二阀值为基准而将晶圆中的复数再验晶粒区分成复数第二晶粒及复数第三晶粒，其中，各第二晶粒所测得的数据高于第二阀值，各第三晶粒所测得的数据低于第二阀值。基于上述步骤可以将可合格的晶粒尽可能地筛选出来，进而增加晶粒可使用的数量，进而提升产能、减少浪费、增加获利。

主权项

1.一种晶圆再验的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：提供一晶圆，其设有复数晶粒；提供复数探针组，各所述探针组包括复数探针，所述探针用以检测所述晶粒；令所述复数探针组以一第一阀值为基准分别对所述复数晶粒进行检测，以将所述复数晶粒区分成复数第一晶粒及复数再验晶粒，各所述第一晶粒所测得的数据高于所述第一阀值，各所述再验晶粒所测得的数据低于所述第一阀值；进行一智慧筛选作业以将所述晶圆中的所述复数再验晶粒区分成复数第二晶粒及复数第三晶粒，其中，各所述第二晶粒所测得的数据高于一第二阀值，各所述第三晶粒所测得的数据低于所述第二阀值，所述智慧筛选作业包括：从所述复数探针中挑选出一最佳探针，所述最佳探针定义为所述复数探针中判别所述第一晶粒的合格率最高者，令所述最佳探针以所述第二阀值为基准而逐一筛选所述晶圆中的所述复数再验晶粒；或从所述复数探针组中挑选出一标准探针组，所述标准探针组具有最佳的第一整体平均值，所述第一整体平均值定义为各所述探针组中的所述复数探针分别检测过复数所述晶粒后所得所述第一晶粒的合格率的加总平均，接着，将所述晶圆依序地切分成复数连续的第一区块，各所述第一区块的晶粒最大数量等同于所述标准探针组的探针数量，令所述标准探针组以所述第二阀值筛选各所述第一区块中的至少一所述再验晶粒；或从所述复数探针组中挑选出所述标准探针组，接着，以所述标准探针组每次对应所述复数晶粒中能囊括最大数量的再验晶粒为准则的方式将所述晶圆依序切分成复数第二区块，各所述第二区块的晶粒最大数量等同于所述标准探针组的探针数量，令所述标准探针组以所述第二阀值筛选各所述第二区块中的至少一所述再验晶粒。