[发明专利]具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法，其方法步骤是称取适量的乙酸镍和硝酸镧溶于乙酸和水的混合溶剂中，得到LaNiO3(LNO)前驱体溶液，采用旋涂镀膜法加热退火在(100)‑Si基片上制备具有高度择优取向的LNO导电薄膜作为底电极。称取摩尔比为1:1.05‑1.10的硝酸铁和硝酸铋与乙二醇甲醚混合，室温搅拌得到褐红色透明的BiFeO3(BFO)前驱体溶胶。将BFO前驱体溶胶以4000‑5000转/分的速率旋涂20秒，旋涂到LNO(001)/Si基片上，在热板上热解3‑10分钟，再放入575‑625℃管式炉中退火2‑3分钟，重复旋涂、热处理数次后，再将BFO薄膜放入575‑625℃管式炉中退火6‑8分钟后，得到具有一定厚度的择优取向的BFO薄膜。本发明制备出的BFO薄膜无杂质相、无第二相、呈现高度(001)择优取向。

主权项

1.具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在(100)‑Si基片上制备出具有高度(001)择优取向的LNO导电薄膜，用作BFO薄膜的底电极；步骤2：制备BFO前驱体溶胶；步骤3：将BFO前驱体溶胶涂在步骤1制备好的底电极上，得到BFO湿膜；步骤4：将BFO湿膜热解后退火，制得具有高度(001)择优取向的BFO薄膜。